【中国电子院澄清网传国产光刻机工厂落地雄安】针对网传清华大学EUV项目把ASML的光刻机巨大化，实现了光刻机国产化，并已在雄安新区落地的消息，“中国电子院”微信号发文称，称该项目并非网传的国产光刻机工厂，而是北京高能同步辐射光源项目(HEPS)。(中新经纬APP)
中国电子院澄清网传国产光刻机工厂落地雄安
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【中国电子院澄清网传国产光刻机工厂落地雄安】针对网传清华大学EUV项目把ASML的光刻机巨大化，实现了光刻机国产化，并已在雄安新区落地的消息，“中国电子院”微信号发文称，称该项目并非网传的国产光刻机工厂，而是北京高能同步辐射光源项目(HEPS)。(中新经纬APP)
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