近日，无锡星微科技有限公司（以下简称星微科技）宣布完成近亿元A轮融资，本轮投资由耀途资本领投，常春藤资本、北洋海棠基金等共同投资，所募资金将用于加快推进产品研发、扩大运营生产规模、加强国内外市场扩展和提升客户服务能力，推动国内半导体设备零部件领域的技术创新。

星微科技是一家精密运动控制产品研发供应商，是专注于高端装备的科技型企业，致力于为用户设计和制造高性能的运动控制产品和整机装备。公司主要面向半导体设备及高端制造领域提供精密运动控制产品及解决方案。高精度运动台和晶圆传输设备是半导体设备两大核心零部件，也是星微科技目前的两大主营产品。

耀途资本执行董事于光表示：“半导体设备及零部件国产化已逐步进入深水区，尤其是各核心零部件及其底层技术，日益成为卡脖子环节。其中，精密运动控制平台及晶圆传输系统长期被海外厂商垄断，亟待突破。星微科技长期深耕钻研，坚持从底层技术开始自主研发，不断打磨工艺，目前已实现核心零部件自主研发生产，并可为客户提供丰富的定制化服务，多款产品已导入国内头部半导体设备厂商。期待星微科技能够坚持自主创新，不断迭代，持续助力我国半导体产业国产替代进程。”

常春藤资本执行董事薛玉梁表示：“当前国际局势变幻莫测，半导体国产化进程被迫加速，而中高端的精密运动台和EFEM国产化率仅为10%左右，亟待打破国外垄断局面，国产替代趋势清晰。星微在精密运动台和EFEM领域深耕多年，自研掌握多项核心技术，产品性能比肩国际头部品牌的同时交货周期大幅缩短，目前已实现多家头部设备公司的批量供货。此外，星微的工匠精神让人印象深刻，未来有潜力成为国内半导体零部件领域的龙头公司。”